装置の機能

シリコンインゴットやシリコンウェハーの切断、切削時に発生するシリコン粒子を含有した排水からの水（純水）とシリコン粒子を回収します。水回収率は90％以上可能です（RO膜処理しない場合）。

装置導入のメリット

1. 排水を回収して再利用しますので、上下水費用、純水製造費用の削減になります。
2. 単位面積あたりの処理効率に優れた中空糸膜を用いるため、凝集沈殿、フィルタープレスにくらべ装置がコンパクトになります。
3. 薬品を使用しないため、凝集沈殿に比べ処理コストが少なく済みます。

フローシート

膜ろ過により清涼な再利用水が得られます

中空糸と特殊脱水装置の組み合わせにより、高純度なシリコンスラッジが得られます。

含水率30％以下のシリコンスラッジが得られます。薬品を使用しないため、高純度のシリコンとなり、再利用可能です。

仕様

装置の処理能力はお客様の要望により小型～大型（100m³/hr以上）まで対応可能です。