装置の機能

半導体、太陽電池での遊離砥粒方式のスラリー（砥粒：クーラント）回収にて、既に砥粒・クーラント回収装置を導入している場合で微細粒子の蓄積により廃棄される二次軽液からクーラント回収を行います。装置にはクーラント回収機構、シリコン粒子排出機構を保持しております。

装置導入のメリット

1. 膜分離を実施する事で遠心力にて取り除けない微細粒子を排除し、クーラント回収率を80％以上に高める事ができます。
2. 装置は固定砥粒方式に変更可能です。
3. 特殊遠心分離機を適用する事でシリコンを固形化（減溶）して排出可能です。固形化するため、その後の再利用も対応し易くなります。

フロー

設置例

仕様

処理能力

お客様のご要望に従い提案可能です。