膜ろ過装置

特長

• 外圧全量ろ過方式を採用。<ピューリア®>GS、SLをユニット化。
• 1-5本立てをラインアップ
• 幅広く必要処理量に対応

製品一覧

<ピューリア®>GR（type G）

井戸水や工業用水を除濁・除菌し、水道水と同等以上の水質を得ることが可能であり、水道水代替として大幅なコストダウンが可能です。

<ピューリア®>GR（type C）

下水放流していた温水を膜ろ過により、原水同等の水質で回収することが可能であり、上下水道費用の大幅なコストダウンが可能です。

<ピューリア®>GR（type S）

独特な分割構造で、これまで処理が難しかった高濁度原水にも対応可能です。

シリコンウェハー製造向け環境機器

シリコンウェハー製造向け環境機器

<ピューリア®>FXシリーズ「ワイヤソーの砥粒、クーラント回収装置」

特長

• 中空糸膜を用いる事でクーラントを高効率で回収

製品一覧

<ピューリア®>FX（type C）

遊離砥粒式ワイヤソーの回収装置で一次軽液からのクーラント回収。

<ピューリア®>FX（type S）

遊離砥粒式ワイヤソーの回収装置で廃棄二次軽液からのクーラント回収。

<ピューリア®>FX（type D）

固定砥粒式ワイヤソーの使用済みクーラントからのクーラント回収。

<ピューリア®>FX（type N）

遊離砥粒方式ワイヤソースラリからの砥粒、クーラント回収。

<ピューリア®>SR「シリコン・純水回収装置」

<ピューリア®>SR「シリコン・純水回収装置」

シリコンインゴットやシリコンウェハーの切断、切削時に発生するシリコン粒子を含有した排水からの水（純水）とシリコン粒子を回収します。